DünnschichttechnikHinter der Dünnschichttechnologie, kurz auch als Dünnschichttechnik bezeichnet, verbirgt sich ein Verfahren, das vorrangig in der Industrie bei der Herstellung von miniaturisierten Teilen genutzt wird. Dieser Aspekt bezieht sich hauptsächlich auf elektronische Bauelemente, die extrem klein sind. Dünnschichttechnisch erzielbare Ergebnisse sind Beschichtungen, die nicht dicker als 1 Mikrometer sind, wobei die Mehrheit der Effekte dieses Maß nicht erreicht. In diesem Zusammenhang wird ebenfalls von einer Nanobeschichtung gesprochen. Die Basis für den Prozess der Dünnschichttechnik bilden zwei voneinander abweichende Vorgehensweisen, die fachlich exakt Additiv- und galvanisches Verfahren genannt werden. Verwendet werden jeweils Werkstoffe, die elektrischen Strom leiten, oder die den Halbleitern zugeordnet werden. Üblich ist die Dünnschichttechnologie in der Medizin-, Sensor-, Mikrowellen-, HF- und Bauteiletechnik sowie bei der Fertigung von Dünnschichtsolarmodulen und Displays.
Die Dünnschichttechnik ist heute unverzichtbar geworden
Wenn die Dünnschichttechnik mit dem Additiverfahren realisiert wird, dann kommt es zu einem Eindampfen von verschiedenen Werkstofflagen. Ausgewählt werden dafür in erster Linie elektrisch isolierende Stoffe, die aus Glas oder Keramik bestehen. Das galvanische Verfahren ist ein sogenanntes Subtraktivverfahren, bei dem eine fotolytische Ausätzung von Leitern und Bauteilen vorgenommen wird. Die Voraussetzung für beide Varianten stellt die Gasphasenabscheidung dar, die sowohl auf physikalischer als auch auf chemischer Grundlage beruhen kann. Mittlerweile hat sich die Dünnschichttechnik weitere Anwendungsbereiche erobert, die eng mit der speziellen Funktionalität der erzeugten Beschichtungen in Verbindung stehen. Bedeutsam ist diese Technologie überall dort, wo beabsichtigt ist, den Oberflächen eines Bauteils eine andere Beschaffenheit zu verliehen, als die, die auf den Volumenwerkstoff zutrifft. Infrage kommen in diesem Bezug die Laseroptik und die Leiterschichten, Verschleißschutzschichten, Architekturglas, optische Solarzellenschichten und Kontaktschichten.